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高纯铝丝应用真空镀膜质量第一

作者:来源:访问:时间:2019-10-23 9:22:28

高纯铝丝应用真空镀膜质量第一

      高纯铝丝真空镀膜机自动控制系统应用背景,对其自动化控制系统进行全面探讨与设计,其中主要包括靶电源、抽真空、水冷设备、电流电压、温度、气体流量以及压力等自动测量系统。触摸屏是一种新型的可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置。

       利用可编程控制器和触摸屏改造、设计了一套真空镀膜设备的自动控制系统,实现了真空镀膜设备的自动控制。包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对不锈钢表面镀膜的研究进展,介绍了高纯铝丝热化学气相沉积方法,重点阐述了溅射镀膜方法(包括直流二极溅射、磁控溅射及离子束溅射)及离子镀技术在不锈钢表面镀膜时对薄膜种类、沉积速率、结合力等方面的特点。提出了目前高纯铝丝实验室建设中存在的不足,采用扫频调幅控制策略实现,并完成了实际产品的研制。高纯铝丝准确控制真空镀膜电源的输出功率,确保镀膜厚度一致是镀膜工艺的关键。

       本文针对高纯铝丝现有中频感应加热电源采用移相控制存在的诸多问题,如调整开关频率会引起负载阻抗和相位的强烈变化,造成功率控制不准确、功率因数低、装置繁琐、单体设备无法级联等缺陷。该实验室的建设,完善了电子科学与技术、微电子学与固体电子学、光电子学等专业的实验教学,有利于提高学生的实践能力和创新能力,同时也为教师和研究生的科研工作提供了科研平台。

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